Полный анализ метрологических систем измерений.

Хорошо настроенный метрологический процесс поможет Вам сэкономить значительные инженерные ресурсы и сократить время отладки технологии.

Простейший анализ системы измерений (АСИ) представляет собой исследование повторяемости и воспроизводимости результата измерений. Более сложный АСИ включает оценку и сопоставление семейства подобных приборов. Наиболее сложный АСИ предполагает оценку и сопоставление результатов различных метрологических приборов и приборов расположеных на разных фабриках. Полный АСИ также включает анализ точности критических измерений и калибровку метрологических приборов по абсолютным стандартам СИ с использованием референс метрологии и анализа статистических данных по методу Мандела.

Пример АСИ описан в нашей публикации, представленной на конференции SPIE Advanced Lithography в 2007 году. Полная версия публикации находится в приложении в нижней части страницы.