Language
   English
  

Новости‎ > ‎

Доклад на 25-й конференции SPIE

Отправлено 05.11.2010 8:38 пользователем tech@glbnm.com   [ обновлено 10.03.2011 7:13 ]
Президент NMI Владимир Украинцев представил работу под названием "Challenges of SEM-based critical dimension metrology of interconnect" / "Проблемы сканирующей электронной микроскопии при измерениях критических размеров элементов интерконнект микросхем" на 25-й конференции "Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography", которая проводилась в городе Сан Хосе, штат Калифорния с 27 февраля по 3 марта 2011.