"Переход от воспроизводимой к точной метрологии критических размеров"
"Transition from precise to accurate critical dimension metrology"
Автор: Владимир Украинцев, Маргарет Цаи (Margaret C. Tsai), Том Лии (Tom Lii) и Рики Джексон (Ricky A. Jackson)
|
|
|
|
|
|
Accurate critical dimension metrology |
